半導體行業景氣度依舊火熱，缺芯問題仍在延續。鴻海、中芯國際、瑞薩等多家廠商預計芯片短缺問題將至少在2022年中開始緩解，英特爾、意法半導體則認為芯片短缺問題將持續至2023年。

晶圓廠正在大舉擴產。國內方面，中芯國際、華虹集團、青島芯恩、長江存儲、合肥長鑫、華潤微、士蘭微等未來幾年都將大規模擴充產能。

晶圓廠擴產帶來了大量半導體設備需求。數據顯示，晶圓制造設備占半導體設備市場的80%，占據晶圓制造產線投資的80%。在晶圓廠積極擴產的背景下，半導體設備需求旺盛。半導體設備交期不斷延長。

不過，目前半導體設備市場主要由美國、日本廠商主導，我國半導體設備國產化率僅在10%-20%左右。隨著半導體設備國產化訴求逐步增強，中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、聞泰科技等國內晶圓廠在新增產能建設過程中積極導入國產設備，極大拉動國內半導體設備需求。

根據通聯數據Datayes！，2018-2020年中國半導體設備出貨金額分別為131億、134.5億、187.3億美元，2021年上半年，這一數字達到141.8億美元。

11月4日，第一財經走訪國內半導體濕法設備龍頭至純科技（603690.SH）上海總部，與至純科技董事長蔣淵就公司業務發展等問題進行交流。

半導體濕法設備累計訂單超160臺

至純科技2000年成立，從高純工藝系統起步，逐步拓展了BU1-5五個事業部，分別開展濕法設備/晶圓再生、高純工藝系統、先進工藝材料、生物制藥工藝、光傳感及光器件業務。

2020年年報顯示，公司高純工藝集成系統、半導體設備和光傳感及光器件的營收分別為8.63億、2.18億、3.15億元，收入占比分別為61.79%、15.59%、22.52%。其中光傳感及光器件毛利率水平最高，達到55.33%。

至純科技提供的濕法設備包含濕法槽式清洗設備及濕法單片式清洗設備，主要應用于集成電路、微機電系統、平板顯示等領域。

“在國產化的政策紅利之下，用戶正比以往任何時候都推動使用本土的設備。”蔣淵對第一財經表示，現在真正被用戶認可的半導體設備廠都是不缺訂單的，主要的瓶頸在于產能。

目前全球市場主要的濕法設備廠商以日本和歐美為主，國內目前有三家在濕法工藝設備端提供中高階濕法制程設備，分別是至純科技、北方華創和盛美半導體。國內廠商的市場占比逐年上升，當前濕法清洗設備國產化率約達20%。至純科技是國內能提供到28納米節點全部濕法工藝設備的本土供應商。

據了解，濕法設備國內每年的市場需求大約在15億-22億美元。“今年至純科技濕法設備營收目標超過一億美元。”

2020年，至純科技單片濕法設備和槽式濕法設備全年出機超過了30臺，較2019年增長50%。同時單片式濕法設備新增訂單金額超過3.6億元，同比增長112%。產品覆蓋28nm以上全部制程節點。

“28納米全部工藝我們都拿到了訂單，今年12月預計能夠全部交付客戶。”蔣淵對第一財經表示，“今年四季度預計能夠確認收入。14-7nm也拿到了4臺訂單。”

至純科技從2015年開始做濕法設備，2017年將濕法設備作為單獨的BU開始運行。“2015年至今約七年的時間里，我們已經拿到超160臺訂單了。”蔣淵對第一財經表示，“現在已經不止這個數字了。”

近日，在濕法設備已耕耘十幾年的盛美半導體在其官方公眾號上表示，10月18日盛美半導體濕法設備2000腔順利交付，累計出貨超過300臺設備。

產能方面，至純科技的半導體濕法設備主要由至純日本與江蘇啟東兩地開展。江蘇啟東廠區目前仍處于產能爬坡階段，計劃達產后產能為年產96臺。

客戶方面，目前至純科技濕法設備主要客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、華潤、燕東、臺灣力晶等。

“在供應鏈方面，我們也在多備一些庫存。我們的設備明年底零部件的國產化率預計在80%左右。”

“我們非常在意單個用戶的復購”

晶圓再生業務是濕法工藝的延伸，主要用于測試片晶圓的重復利用。伴隨硅片用量的持續增長和價格上漲，晶圓再生需求旺盛。而當前國內供應商份額不足10%。至純合肥工廠是中國首個量產12英寸再生晶圓的工廠，建成后預計將形成年產168萬片的晶圓再生產能。

“晶圓再生的產能還在慢慢爬坡，今年7月開始量產，今年預計能有兩個月的產能，11月份開始形成收入。”蔣淵表示，晶圓再生業務和腔體再生業務均達產后，年產值預計能夠達到6億元。

高純工藝系統是晶圓廠建設的關鍵基礎設施，承擔化學品儲存和輸送的作用，約占晶圓廠建廠成本的8%。泛半導體領域的面板、光伏、LED，以及光纖、生物制藥等行業亦有廣泛的高純工藝系統需求。

目前，高純工藝系統業內龍頭主要為美、日廠商等，國內廠商起步較晚。

2020年，至純科技系統業務收入8.63億元，毛利率為31.76%，并擁有上海華力、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微、西安三星、無錫海力士等眾多行業一線客戶，2020年所有核心客戶均給予了持續的重復訂單。

“我們至純非常在意單個用戶的復購，高純工藝系統我們已經有大量的用戶復購。濕法設備雖然起步晚，但基于一貫的至純的務實專業的作風，也在往這個趨勢去；我們特別關注單個用戶全線購買至純的濕法設備。”蔣淵表示，目前有兩個芯片制造廠的新線中濕法設備大部分購買了至純的設備，有少量幾臺購買了日本廠商的。

此外，2018年至純科技收購波匯科技100%股權進入光傳感領域。

據中國電子元件行業協會信息中心的數據，中國光傳感器市場規模達778億元，約占全球市場規模的57%，預計到2020年將達到1180億元，占比進一步上升至64%。

“布局光電子領域，主要是出于平滑周期的考慮。”蔣淵對第一財經表示，“半導體雖然近年來發展得非常快，但是它還是一個周期性行業，只是這次是一個長周期，可能還有8-10年的高增長期。但我們不能把所有的業務都放在半導體上。而光傳感領域和高純工藝系統有很好的協同作用，本身作為下游又有自己廣闊的發展空間。”

研發方面，至純科技研發投入總額占營業收入比例為10.76%，與國內半導體設備龍頭企業中微公司（28.14%）、北方華創（26.56%）相比，研發投入力度較小。對此，蔣淵表示，“至純將資源盡量傾斜在濕法設備中。我們投入的都是自有資金，未來研發力度會隨著我們資源變多而加大。未來也會和我們的用戶一起做研發。”

10月18日晚，至純科技披露，公司控股子公司至微科技擬通過增資擴股引入戰略投資者并進行部分股權轉讓，本次增資方包括大基金二期及其相關基金。

“不光是大基金，中芯聚源也投了我們。這意味著中芯的核心產業鏈也會和我們有很多合作機會。”蔣淵表示。

標簽： 至純